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为了减少靶材固体中的气孔，提高溅射薄膜的性能，通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率，还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高，薄膜的性能越好。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。(3)利用放电气氛中加入氧或其它的活性气体，可以制作靶材物质与气体分子的混合物或化合物。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布：通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。

添加Pt的初衷是用作扩散障以阻止或推迟Al从涂层向基体的互扩散。但Pt在铂铝涂层中没有发挥扩散障的作用，涂层在服役期间与基体发生明显的互扩散反应，并致使难熔元素析出为TCP相。因此，Pt不能作为铝化物涂层的扩散障，转而作为Al的扩散媒介。从事发动机叶片制造及其高温防护涂层研发与应用的科研院所、高校和企事业等单位缺乏铂改性铝化物涂层的制备与性能研究的知识储备和核心技术，铂铝改性涂层研究在国内未受到足够的重视。针对如此质量的阳极板，公司技术员开发了相应的工艺条件，文章[5]提出：阳极板含铜、铅均低(Cu<。

在众多的应用领域中起着关键的的作用，因此被誉为“首要高技术金属”、“现代工业的维生素”“现代新金属”，发达的国家长期以来一直把视为“战略性物质”。其中的黄金、白银被认为是抵御通货膨胀的非常好的避险产品，其货币功能始终被各国、人民所认可和接受，尤其在金融危机、经济危机和地缘政治发生剧烈波动时更是凸现出来。此外，提高靶材的密度和强度使靶材能更好地承受溅射过程中的热应力。