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涡轮分子泵可以用于各类质谱仪（比如 GC/MS、LC/MS、ICP/杠MS、TOF…）、镀膜机、电子显微镜（SEM、TEM）、聚焦离子束系统（FIB）、表面分析仪器，高能物理实验装置、粒子、高真空实验装置等诸多应用。

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流量是选泵的重要性能数据之一，它直接关系到整个装置的的生产能力和输送能力。 如设计院工艺设计中能算出泵正常、zui 小、zui大三种流量。选择泵时，以zui大流量为依据，兼顾正常流量，在没有zui大流量时，通常可取正常流量的1.1倍作为zui大流量。

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分子泵直接清洗的方法如下： 1．关掉分子泵，进行排气。 2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。 3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等 4．拆掉润滑的油包 5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。 6．往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜.